详细信息

产品介绍：

SIT-200 硅晶圆检测仪是Alnair Labs 公司采用高速扫频激光器，利用干涉计量的方法设计制造的用于硅晶圆厚度检测的干涉仪。与常规测厚采用宽带光源不同，可调谐激光器具备很高的功率谱密度，从而提高了测量的动态范围，因此，SIT-200 支持非抛光的晶圆测量，例如在湿刻过程中以及湿刻之后的晶圆。

产品特点：

l  全光学，非接触式晶圆厚度传感

l  高动态范围，可测量不规则表面

l  支持湿刻制程中实时测量

l  高灵敏度、高准确度、高速度

l  远程控制

产品参数：

测样品	硅晶圆
可测厚度范围	10 - 500 (n=3.5)	m
精密可调谐激光	1515 - 1585	nm
光功率	0.6	mW
指引光	红色，Class 1M
测量时间	最短 20	ms
可重复性	<0.1 (3-σ)	m
监控输出	干涉信号输出
PC 界面	Ethernet

精密扫频激光光源以高速度调谐激光波长。样品前、后表面反射的激光的干涉信号经过PD 探测后，根据波长- 干涉信号强度的关系即可得到晶圆厚度。