详细信息

产品介绍：

波威代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速扫频可调谐激光探测硅片厚度的硅片厚度测试仪。 基于高速波长扫描的激光器可以实现每波长更高功率的测量，从而实现高动态范围，甚至在未抛光的晶片上也可以进行厚度测量，例如在湿法蚀刻期间/之后。硅晶片厚度传感器由精确调谐的波长扫描激光源，聚焦传感器和光接收器（PD）构成。 波长扫描光聚焦在目标上，并且在通过传感器之后由PD检测由目标表面和背面的反射形成的干涉图案。

产品特点：

l 用于硅晶圆的全光学，非接触式厚度传感器

l 高动态范围，能够测量无序表面

l 能够在湿法蚀刻期间进行原位测量

产品应用：

l 硅片厚度测量

产品参数：

主要技术指标		硅片厚度测试传感器（SIT-200）
		SIT-200
测试功能	-	硅片厚度
厚度测试范围	um	10~500（n=3.5）
激光器	nm	波长扫描激光器，1515nm-1585nm
光输出功率	mW	0.6（Class 1）
引导光源（基准光源）	-	RED LD，Laser class 1M
测试时间	ms	≥20
重复率	um	＜0.1（3σ）
监控输出	-	干扰信号（电信号）
程控接口	-	Ethernet（网口）
电源	-	AC100-240V（50/60Hz）
尺寸（WxHxD）	mm	364x147x391
重量	Kg	9.0
其他说明	更多产品信息，请联系北京波威科技的销售人员确认！