技术特点

可选的紫外臭氧发生器，使测量精确可靠

可选光度计实现精确控制

存储器不易丢失，校准序列覆盖周期长达一年

调取存储数据及诊断信息可通过前面板，方便快捷

多个气体校准口，可配置单气体或多混合气体

技术指标

流量测量精度:±1%满量程

流量控制再现性:±0.2%满量程

流量测量的线性:±0.5% 满量程

稀释气的流量范围:0-10SLPM

可选量程:0-20SLPM,0-5SLPM

钢瓶气的流量范围:0-100cc/m

可选量程:0-50cc/分,0-200cc/分

零气源要求:10SLPM@30psi

可选:20SLPM@30psi

输入压力:20-40psig

校准气体输入口:4(可配置)

稀释气体输入口:1

臭氧发生器模块

输出:6ppmLPM

最小输出:100ppbLPM

反应时间:180s至98%

光反馈:标准

稳定性（7天）:带光度计的1%，不带光度计的3%

线性:带光度计的1%，不带光度计的3%

紫外光度计选项

量程:0-100ppb至0-10ppm(可选)

精度:1.0ppb

线性:1.0%读数

升降时间:<20s(光度计响应)

响应时间:180s到95% (系统响应)

零点漂移:<1.0ppb/24小时

跨度漂移:<1%/24小时

电源要求:85V-264V,47Hz-63Hz

模拟输出(测试通道):10V,5V,1V,0.1V,(可选)

已含I/O:1 x 以太网: 10/100Base-T

2 x RS232 (300-115,200 baud)

2 x USB 装置端口

8 x 数字控制输出

12 x 数字控制输入

8 x 数字状态输出

运行温度范围:5-40ºC

尺寸 (HxWxD):7”x17”x24”(178x432x609mm)

重量:31lbs(14.06 kg)

39.2 lbs(17.78 kg)带光度计,GPT及臭氧发生器