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大尺寸内径千分尺
面议CV-3200系列是在Z1轴（检出器）上配有高精度弧形光栅尺和新型测臂的轮廓测量仪。高精度弧形光栅尺能直接读取测针的弧形轨迹，以实现高精度和高分辨力。与传统型号相比，新测臂使Z1轴测量范围增大了10mm同时减少了工件的干扰。测臂安装部采用了磁性链接件，单此接触就能完成测臂的装卸，提高了易用性。
各种类型工件表面的线要素、点要素，点与点的距离、线与线的距离，各要素的位置度包括：距离、平行度、垂直度、角度、槽深、槽宽、半径，可进行直线度分析，凸度分析等。
项目 | CV-3200S4 | |
X轴（横臂） | 测量范围 | 100mm |
直线度 | 0.8μm/100mm,2μm/200mm 當X軸在水平方向上 | |
测量速度 | 0.02-5mm/s | |
驱动速度 | 80mm/s | |
光栅分辨率 | 0.05µm | |
指示精度 | ±(1+0.01L)μm L:为驱动长度(mm) | |
测量方向 | 向前/向后 | |
倾斜范围 | ±45° | |
测量方法 | 反射式光学尺 | |
Z1轴（检测器） | 测量范围 | ±25mm |
分辨率 | 0.2µm | |
测量方法 | 光学尺 | |
指示精度 | ±（1.6+|7H|/12) µm±(2+4H/100)μm H:為水平位置上的測量高度 | |
指测针上/下运动 | 弧形运动 | |
测针方向 | 向上/向下 | |
测针抬起方式 | 自动或手动 | |
测力 | 30mN | |
爬坡角度 | 上升77°下降83° | |
标配测针 | 测针类型 | 硬质合金针尖 |
测针半径 | 25 µm | |
Z2轴（立柱） | 测量高度 | 300mm |
分辨率 | 1 µm | |
测量方法 | ABSOLUTE光学尺 | |
运动速度 | 0-20mm/s | |
仪器平台及工装夹具 | 花岗岩基座 | 600X450 |
X、Y轴移动平台 | 130*100mm | |
重量 | 主机 | 140kg |
控制箱 | 14kg | |
摇控箱 | 0.9kg | |
环境要求 | 气压 | 0.4MPa |
耗气量 | 30L/min | |
电源 | 100-240VAC ±10%, 50/60Hz | |
环境 | 温度：10～30℃；相对湿度：＜85% | |
