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PMF2000采用博思发科技公司的第三代热式流量传感器芯片,采用*的微加工技术制造。传感器芯片使用一对热电偶检验由质量流量引起的温度梯度变化,具有*的信噪比和可重复性。传感器芯片上的“固态”绝热结构去除了传统产品中使用的表面空腔或脆弱薄膜,使传感器芯片坚固耐用,能够避免堵塞,并抵抗压力冲击。
PMF2000系列有提供模拟输出的PMF2000V和提供I2C数字输出的PMF2000D。此系列支持的流量范围从200 sccm~10 SLM。
传感器在0~50 °C的温度范围内进行温度补偿。线性的输出提供给用户的灵活性和可用性。