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一、立式接触式干涉仪JDS-1参数
被测件长度： | 150 mm |
工作台行程： | 5 mm |
测杆移动范围： | 0.5mm |
分划板刻度范围： | ±50格 |
直接测量范围： | 5-20μm |
分度值调整范围： | 0.05-0.2 μm |
推荐使用分度值： | 0.1 μm |
测量压力： | (1.5±0.1) N |
仪器示值稳定性： | 0.02 μm |
仪器误差： | ±（0.03+1.5ni △λ/λ）um n 是格数, i是格值,λ是滤光片中心波长，△λ是滤光片波长误差 |
仪器体积： | 280×500×700 mm |
仪器重量： | 40 kg |
二、仪器标准配件：
1 | 1、五筋园台 |
2 | 九筋玛瑙台 |
3 | 可调园平台 |
4 | 辅助台 |
5 | 平面测帽 Ф2 |
6 | 小球面测帽 |
7 | 干涉滤光片 |
