(X/Y/Z)量测行程(mm)

500*600*200

600*800*200

1000*800*200

1000*1200*200

1200*1500*200

全机尺寸(mm)

1500×1200×1800

1750×1300×1800

2100×1650×1800

2100×1650×1800

2400×1850×1800

玻璃台面（mm）

750*725

900*725

1120*925

1298*1118

1620*1325

机台承重量

30Kg

CCD

700线高清晰彩色CCD

光栅尺

0.1微米高精度金属光栅尺

镜头

全自动变焦镜头(光学放大0.7-4.5X影像放大30-200X)

马达

松下伺服电机

导轨

进口高精度导轨

控制系统

UWC4000I

光源

可程控调节:LED五环八区表面环光+底部平行+同轴光（选配）

量测软件

3D-INSPECT

量测精度

X/Y：（3+L/200）um   Z：≤5um

重复性

2um

工作距离

90mm

电脑系统

HP战系列：I3，8G内存，1TB硬盘，21.5显示器

适合环境

温度20-25摄氏度，湿度50%-60%

电源供给

110V-220V±10%  50/60Hz