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标准主机包含单色化Al Kα X射线源,可实现大面积XPS分析、小面积XPS分析和ISS分析以及XPS快速平行成像等功能。
•业界功率的600W单色化Al Kα X射线源,确保的分析灵敏度。
•平均半径165mm的双层能量分析器,确保高能量分辨XPS分析和高空间分辨的XPS成像。
•的浸入式磁透镜技术,大幅度提高分析灵敏度。
•的快速平行X光电子实时成像,空间分辨率优于3μm,像素65,536(256×256),可进行微区元素和化学态空间分布分析。
•的同轴超低能无阴影单电子源荷电中和器,解决绝缘体XPS分析。
•的二维阵列延迟线检测器(Delay-Line Detector),同时记录光电子的强度和发射位置,可实现在数秒钟之内获得高能量分辨XPS谱。
•全自动超大样品台,可实现100mm×100mm的大样品分析。
•能量分辨率优于 0.45eV(Ag 3d5/2),常规分析能量分辨和灵敏度高达0.55eV@1.1Mcps(Ag
•绝缘体分析的分析能量分辨和灵敏度高达0.68eV@16kcps(PET的C 1s)。
•选配单色化Al/Ag双阳极X射线源,实现高能XPS分析。
•结合了数据采集和数据处理的Vision软件,可运行于Windows XP/Vista/7等多种平台下,实现各真空室真空度实时显示,操控真空阀门开关,实验条件设定和全自动无人值守分析等强大功能。