气体质量流量控制器（MFC)/气体质量流量计(MFM)主要是热式工作原理、差压式工作原理和科里奥利工作原理，其中热式原理的气体质量流量控制器（MFC)/气体质量流量计(MFM)采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制，所以气体质量流量控制器的应用在工业中比较广泛，作为一个相对精密的仪器，想要仪器有一个相对长久的使用寿命，就离不开我们在使用过程中做好维护，而且也要做好记录。气体质量流量控制器（MFC)/气体质量流量计(MFM)使用一段时间后需定期的对气体质量流量控制器拆开进行内部的气路进行清理，在检查是否有受损的零件；检查气体质量流量控制器的管道刚性是否是缺乏的状态，避免作业时出现振荡现象；气体质量流量控制器里外的污染清理，避免密封面的损坏；质量流量控制器的压力、流量等在所能测试的范围：各类质量流量控制器都有其固定的检测压力、流量范围，在其测定范围内完成测量，才能保证质量流量控制器准确地进行测定。气体质量流量控制器（MFC)/气体质量流量计(MFM)的校准和检测与同其它的分析检测仪器一样，都是用相对比较的方法进行测定的。因此，对气体质量流量控制器进行校零，经常性对仪器进行校准都是保证仪器测量准确的*的工作。综上所述，我们在使用气体质量流量控制器（MFC)/气体质量流量计(MFM)时，需要精心的维护，一旦发生仪器故障时可以及时查找到其原因。而且我们要注意的时，一旦仪器发生了故障，那么我们尽量找到原厂的气体质量流量控制器厂家进行维修减少损失。