流量范围

0.5SCCM-5000SLPM

可自行修改流量单位如kg/h、g/min等

标定气体

内置130条气体可选择

含腐蚀气体(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)

精度(调零后)

±(0.8%Rd+0.2%FS)

高精度(调零后)

±(0.4%Rd+0.2%FS)限于5SCCM-500SLPM

重复性

±0.2%FS

漂移(零点/满量程)

0.02% F.S/ºC/Atm

工作范围

0.5-99%

响应时间

10毫秒(调整)

启动预热时间

1秒内

标准工况

25ºC & 14.696 psia，可自定义修改

工作温度范围

-10~-50℃(另有高温订制品)

工作湿度范围

0-99%RH(非冷凝)

工作压力

10Bar

压差

5Bar

安装方向

任意

阀门状态

常闭

材质

SUS316L不锈钢、密封圈FFKM(Kalrez)

显示屏

背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度

数字信号

标准RS232

选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet

以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)

模拟信号

标准0-5V/1-5V/0-10V

选配:4-20mA

第二路模拟信号

标准0-5V/1-5V/0-10V

选配:4-20mA

电气接口

标准圆形8芯

选配:圆形6芯、DB9、DB15

供电电压

+24VDC

消耗电流

100mA

1针(黑色)

4-20MA输出信号，如选择0-5V/10V 连接6针

2针(棕色)

不用连接如选第二路 输出信号可接

3针(红色)

RS232 输入串口RS232 输入串口

4针(橘色)

远程清零

5针(黄色)

RS232 输出串口

6针(绿色)

0-5V或0-10V输出信号

7针(蓝色)

+24VDC供电

8针(紫色)

接地(同时作用于电源、通讯、模拟)

0.5-1SCCM

1.0

1/8NPT母螺纹

2-50SCCM

1.0

100SCCM-20SLPM

1.0

50SLPM

2.0

1/4NPT母螺纹

100SLPM

2.5

250SLPM

2.1

1/2NPT母螺纹

500SLPM

4.0

3/4NPT母螺纹

1000SLPM

6.0

1500SLPM

9.0

2000SLPM

5.0

3000SLPM

7.1

1-1/4NPT母螺纹

4000SLPM

2.7

2”NPT母螺纹

500SLPM

3.4