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所在地
BRENDA多功能配气仪 | ||||
型号 | BR-2C | BR-3C | BR-4C | |
控制方式 | 内部集成 质量流量控制器 | |||
精度 | ±1.0%RD | |||
MFC响应速度 | 全量程1秒以内 | |||
使用气体 | 常规非腐蚀气体、以及腐蚀气体(单独说明) | |||
流量范围 | 每个分路3SCCM-50SLM，混合后总流量100SLM以下 | |||
耐压 | 0.8Mpa | |||
管路接口 | RC1/4 | |||
使用温度/湿度 | 5-50℃、10-80%RH | |||
尺寸(MM) | 380*390*330 | 480*390*330 | ||
设备重量 | 30KG | 37KG | 40kg | |
消耗电力KW | 0.1kw | |||
电压 | AC100-240V,50-60HZ | |||
