产品介绍：

超紧凑的尺寸

软电晕预电离

高压固态脉冲发生器

激光头体积<3l

TMC（全金属陶瓷）容器

集成真空泵和卤素过滤器

*风冷，主动热管理

RS-485，RS232，USB和光纤接口，用于系统集成

可冲洗光学支架

能量稳定模式

ATLEX-S系列激光是一种非常紧凑的紫外光源，专为中低占空比S应用而设计。

参数：

气体介质 ArF KrF

波长 nm 193 248

高压开关技术 固态开关 固态开关

重复率max. Hz 300 500 300 500

脉冲能量max. mJ 10 10 15 15

平均功率max. W 2.4 4 4 6

脉冲持续时间 ns 5-8

光束尺寸（V x H） mm 4 x 6

光束发散角（V x H）mrad 1 x 2

能量稳定性（标准偏差）% < 3

尺寸（长x宽x高）mm 630 x 400 x 300

重量 kg 65

冷却 空气

电源要求 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz