软电晕预电离

高压固态脉冲发生器

激光头体积<3l

TMC（全金属陶瓷）容器

集成真空泵和卤素过滤器

风冷/可选液冷，主动热管理

RS-485，RS232，USB和光纤接口，用于系统集成

可冲洗光学支架

能量稳定模式

新一代紧凑型风冷，高重复频率的准分子激光器，专为中低占空比应用而设计。

参数：

气体介质 F2 ArF KrF XeCl XeF

波长 nm 157 193 248 308 351

高压开关技术 固态开关

重复率max. Hz 1 10 15 8 7

脉冲能量max. mJ 0.5 4.0 6.5 3.0 2.5

平均功率max. W 500

脉冲持续时间 ns 5-8

光束尺寸（V x H） mm 4 x 6

光束发散角（V x H）mrad 1 x 2

能量稳定性（标准偏差）% < 3

尺寸（长x宽x高）mm 540 x 470 x 370

重量 kg 60

冷却 冷却空气/可选液体

电源要求 230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz