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郑州市所在地
| 设备简介: 双温区的PECVD管式炉系统,组成部分为500W的射频发生器、可定位的独立滑动式烧结炉、高精度质量流量混合系统、稳定防反油真空系统。此款PECVD可用于生长纳米线或用CVD方法来制作各种薄膜。 | |||
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配置详情
| 1. 清洗镀膜一气呵成,杜绝二次污染; 2. 上开启式结构,方便观察试样; 3. 产品采用全自动控制方式,触摸屏,数字化显示; 4. 可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果; 5. 稳定的射频电源,均匀的温度分布,提高成膜质量; | |||||||
产品型号 | NBD-PECVD1200-50IIT | |||||||
电气规格 | AC220V 3KW 射频功率:300或500瓦 13.56Mhz | |||||||
可达温度 | 1200 ℃ (<1小时) | |||||||
连续温度 | 1100 ℃ (连续) | |||||||
可达加热速率 | ≤ 20 ℃/分钟 | |||||||
加热区长度 | 200mm+200mm(两个加热温区分别加热,分体式设计使温度梯度可以达到极限) | |||||||
炉管尺寸 | Φ50*1800mm | |||||||
射频线圈 |
| 采用多节点镀银的水冷铜线圈,可匹配不同频率的射频电源 | ||||||
控制系统 |
| 1.可预存15条温度曲线,避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦; 2.实验过程更加直观,操作更加便捷; 3.可另选配无线控制模块,实现远程操控; 4.具有超温报警、断偶提示、漏电保护等。 | ||||||
温度精度 | +/- 1 ℃ | |||||||
加热元件 |
| Mo掺杂的Fe-Cr-Al合金 | ||||||
密封系统 |
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真空度:≤10Pa(机械泵),达到启辉条件。 | ||||||||
压力测量与监控 |
| 采用数显真空计可直观显示设备的真空度,实验数据及效果更加准确。 | ||||||
供气系统 |
| 采用质量流量计控制,与设备一体化,方便控制,出厂前已进行漏气测试工作 | ||||||
净重 | 100KG | |||||||
设备使用注意事项 | 1. 设备炉膛温度≥300℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害; 2. 设备使用时,炉管内压力不得超过0.125MPa(压力),以防止压力过大冲开密封法兰; 3. 高真空下使用时(10的负3次方Pa),设备使用温度不得超过800℃。 | |||||||
服务支持 | 1年有限保修,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如炉管和O形圈等) |
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