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产品型号：NBD-103(B)
该系统采用分子泵作为主工作泵，103(B)真空系统采用机械泵作为分子泵前级泵，机械泵内部已配有隔断放气装置，它主要由连接管道，103(B)真空系统分子泵,机械泵构成，通过标准配件连接,全部采用不锈钢材料，电抛光处理。系统设计有预抽功能。
主要配置：
| 序 号 | 主要配置 | NBD-103(A)系统 | NBD-103(B)系统 |
| 1 | 机械泵 | 抽气速率：4L/S 电机功率：400W 极限压强6X10-2Pa | 抽气速率：6L/S 电机功率：500W 极限压强6X10-2Pa |
| 2 | 分子泵参数
| 抽气速率：100L/S 极限压强：6X10-6Pa 启动时间：＜2min 额定转速：43000转/分 冷却方式:：风冷/水冷 | 抽气速率：600L/S 极限压强：6X10-6Pa 启动时间：＜2min 额定转速：27000转/分 冷却方式:：风冷/水冷 |
| 3 | 分子泵控制电源 | 电压：200~240V 输出功率：250W 加速时间：3分钟 输出频率：高速704Hz±10% 低速430 Hz±10% | 电压：380~410V 输出功率：400W 加速时间：3分钟 输出频率：高速704Hz±10% 低速430 Hz±10% |
| 4 | 复合真空计 | 工作电电压： 220V 50~60HZ 电阻规阻值：约85 欧 自动保护（电离）>10Pa 电离规管测量范围：100~1010-5Pa 电阻规管测量范围：105 ～10-1 pa | 工作电电压： 220V 50~60HZ 电阻规阻值：约85 欧 自动保护（电离）>10Pa 电离规管测量范围：100~1010-5Pa 电阻规管测量范围： 105 ～10-1 pa |
| 5 | 高真空手动隔断阀 | 采用氟胶圈密封，快卸法兰接口，漏率达5X10-9 Pam3/s | 采用氟胶圈密封，快卸法兰接口， 漏率达5X10-9 Pam3/s |
| 6 | 103(B)真空系统连接管路 | 采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于 1×10-9Pa.m3/s | 采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于 1×10-9Pa.m3/s |
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