适用于4”&5”&6”&8”晶圆

操作简便

贴膜质量

没有气泡（不包括灰尘颗粒气泡）

每小时产能

≥ 75片晶圆

更换产品时间

≤ 5分钟

晶圆厚度

200 ~750微米

晶圆种类

硅, 砷化镓或其它材料

单边, V型缺口

膜种类

蓝膜或者UV膜

宽度：300~400毫米

长度：100米

厚度：0.05~0.2毫米

晶圆承载环

8”DISCO 或者 K&S 标准

12”DISCO 或者 K&S 标准

客户制定标准

贴膜原理

防静电滚轮贴膜

晶圆台盘

可更换式防静电涂层接触式台盘（8“和12”之间互换）

或硅胶台盘；或多孔金属台盘；或陶瓷台盘

装卸方式

晶圆/承载环手动放置与取出

防静电控制

防静电涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/防静电离子发生器装置

切割系统

手动轨迹式圆切刀和直切刀

晶圆定位

通用标线／弹簧定位销

控制单元

基于PLC 控制，带5.7”触摸屏

安全防护

配置紧急停机按钮

电源电压

单相交流电220V,10A

压缩空气

5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟2立方英尺

机器外壳

白色喷塑金属外壳

体积

670毫米(宽)*1110毫米(深)*880毫米(高)

净重

100公斤