产品简介

善准科技等离子清洗机VP-R手动版，手动控制，13.56MHz物理与化学作用俱佳，适用于PDMS键合，石墨烯粉末清洗，硅材料亲水性处理和高分子材料处理。

产品特性

1.BetterReliability，Better Operation

内置一路通入气体，无需再搭配气体混合仪

简易、智能化设计，避免误操作

采用数字显示压力，实时观察腔体压力变化情况

手动控制，人机界面友好

清洗结束，旋钮泄压

泄压时长和大小可调，可通入氮气泄压

清洗功率高、中、低三挡可调

2.补充国内技术空白

柔性电极输出13.56MHz频率用于等离子清洗

性能俱佳，在控制自动化，人性化设计方面前列

腔体低温，运行时腔体温度小于32°C

13.56MHz物理作用和化学作用俱佳

等离子体从腔体向四周发出，对样品整个表面处理更*

VP-R手动版与薄膜、玻璃基片和石墨烯等离子处理比对情况

3.质量可靠，细节决定

石英材质腔体，保证腔体更加洁净，更适合清洁度高材料

国内真空泵，保证腔体真空度稳定，等离子清洗强度更强

306不锈钢卡扣，比普通铝制卡扣更耐用，接口气密性更好

1.5米不锈钢波纹管，比橡胶更耐用，密封性更好

高硼硅圆形托盘，避免样品二次污染

4.经典清洗案例分析

石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末杂质和油质增加石墨烯表面亲水基团（-OH）提高亲水性

金属工件油污等离子清洗，不损伤样品，去除表面油污

PDMS等离子清洗，改变表面性质，提高粘接能力

橡胶亲水性处理

薄膜等离子处理

技术规格

型号 ：VP-R手动版    

腔体材质：石英玻璃    

腔体容量：2L    

内腔尺寸：Φ100x200Lmm    

射频功率：160W    

射频频率：13.56MHz    

RF放射：无    

频率偏移量：小于0.2KHz    

等离子体轰击：从四周向中间    

腔体温度：满功率运行30分钟腔体温度＜32℃    

清洗时间：手动设置    

功率调节：高、中、低三挡    

显示屏：无    

操作控制：手动控制    

气体流量计：无    

提供进气气路：一路进气，进气量可调    

进气管：一根    

泄压：手动开关泄压，泄压速度可调    

真空泵极限真空度：5x10﹣2Pa    

抽速：8m3/h    

噪音：≤56dB    

抽真空时间：启动到发出辉光≤35秒（时间可调）    

真空检测：无    

冷却方式：风冷    

腔体门：高强度铝合金    

真空泵控制：主机与真空泵联动    

供电电源：AC220V/50Hz    

箱体平衡：减震橡胶脚杯    

外形尺寸(LxWxH)：420x420x320mm    

善准科技等离子清洗机VP-R手动版订购信息

标准配置 ：主机、真空泵、1.5米波纹管、清洗托盘、电源线、说明书、合格证、保修卡、提供一路进气管    

选配件：1、微量控气阀（清洗粉末适用）2、高硼硅圆形托盘  3、安捷伦干式真空泵，防止油气挥发（高洁净实验室适用）