半导体参数分析仪（器件分析仪）是一种集多种测量和分析功能于一体的测试仪器，可准确执行电流-电压（IV）和电容测量（CV(电容-电压)、C - f(电容-频率)以及 C –t(电容-时间)测量），并快速、轻松地对测量结果进行分析，完成半导体参数测试。半导体参数测试是确定半导体器件特征及其制造过程的一项基础测量。在参数测试中，通常需要进行IV测量，包括分辨率低至1pA的小电流测量和高达1MHz的CV测量，并对主要特征/参数进行分析。虽然半导体参数分析仪的设计初衷是进行半导体评测，但因其尤越的性能、*的功能以及出色的易操作性，现已在各种材料、器件和电子器件的IV和CV表征中得到广泛应用。

半导体参数分析仪可为表征任务提供更高的性能、更强的可用性以及更高的效率。参数分析仪集多种测量资源于一身，可轻松进行IV和CV测量，无需汇集或集成多种仪器，例如电源、电压表、电流表、LCR表、开关矩阵等。参数分析仪的主要测量元器件是电源/测量单元（SMU）。SMU是一种将电压/电流源功能和电压/电流表功能结合于单一模块中的测量模块。由于该参数分析仪将电源和测量电路紧密集成，所以相比使用多种独立仪器进行相同测量来说，可以提供更高的精度、分辨率以及更小的测量误差。

此外，参数分析仪还具有分析功能，使您无需借助外部PC便可快速地交互检查和分析显示屏上的测量结果。由于半导体参数分析仪具有多种功能，因此适用于从探索分析到自动测试的各种测量环境。

全“芯”新品！SPA6100半导体参数分析仪，1200V/100A，一键执行测试，朝高性价比！模块化集成设计，配置多种不同规格的SMU，可同时进行直流I-V、超快脉冲式I-V、C-V测试，帮助你实现测试效率与开支的平衡！

产品特点

30μV-1200V，1pA-100A  宽量程测试能力

测量精度高，全量程下可达0.03%

内置标准器件测试程序，直接调用测试简便 

自动实时参数提取、 数据绘图、分析函数

在CV和IV测量之间快速切换而无需重新布线

供灵活的夹具定制方案，兼容性强

免费提供上位机软件及SCPI指令集

应用场景及测试参数

纳米材料：电阻率、载流子迁移率、载流子浓度、霍尔电压

柔性材料：拉伸/扭转/弯折、V-t、I-t、R-t、电阻率、灵敏度

IC芯片：O/S、IIH/IIL、VOH/VOL、I/O  Pin IV曲线

分立器件：BVDSS/IGSS/IDSS/Vgs(th)/Rdson、Ciss/Coss/Crss、输出/转移/CV曲线等

光电探测器：暗电流ID、结电容Ct、反向击穿电压VBR、响应度R

钙钛矿电池：VOC、ISC、Pmax、Vmax、Imax、FF、η、Rs、Rsh

LD/LED/OLED：Iop、Popt、VF、Ith、VR、IR、LIV/IVL曲线

传感器/忆阻器：V-t、I-t、R-t、直流/脉冲/交流IV测试

特色优势

模块化配置：可灵活配置多种测量单元，预留升级空间，方便后期升级

图形化界面：内置常用器件模板，可直接调用，并且支持输出三种模式测试报告

自动化测试：内嵌低漏电矩阵开关，可自动切换测试电路，实现一键测试功能

夹具可定制：支持二极管、三极管、Si及SiC  MOS管、IGBT等器件

多设备联动：可与探针台、温控模块等搭配使用，温控范围：室温~250℃