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XAVU抽真空光谱仪是一款一机多用型光谱仪,应用了*的EFP算法和微光聚集技术,既保留了专用测厚仪检测微小样品和凹槽的膜厚性能,又可满足成分分析。被广泛用于各类产品的质量管控、来料检验和对生产工艺控制的测量使用。
XAVU抽真空光谱仪优势
1)搭载微聚焦加强型X射线发生器和*的光路转换聚焦系统,最小测量面积达0.03mm²2)拥有无损变焦检测技术,手动变焦功能,可对各种异形凹槽件进行无损检测,凹槽深度范围0-30mm3)核心EFP算法,可对多层多元素,包括同种元素在不同层都可快、准、稳的做出数据分析(钕铁硼磁铁上Ni/Cu/Ni/FeNdB,精准检测Ni和第三层Ni的厚度)
4)配置智能抽真空系统,屏蔽大气对低能元素的影响,对Al,Si,P等轻元素涂镀层厚度以及成分测试精度更高,数据更加准确稳定5)装配SDD硅漂移探测器,分辨率更高,能量线性好,较高的峰背比6)配置更高效数字多道技术,测试速度更快,计数率达到100000CPS,精度更高7)涂镀层分析范围:锂Li(3)- 铀U(92)8)成分分析范围:钠Na(11)- 铀U(92)9)RoHS、卤素有害元素检测10)人性化封闭软件,自动判断故障提示校正及操作步骤,避免误操作11)标配4准直器自动切换,最小测量面积可达0.03mm²12)配有微光聚集技术,最近测距光斑扩散度小于10