性能优势：

1.微小样品检测：小测量面积0.03mm2（加长测量时间可小至0.01mm2）

2.变焦装置算法：可改变测量距离测量凹凸异形样品，变焦距离可达0-30mm

3.*的EFP算法：Li(3)-U(92)元素的涂镀层，多层多元 素，甚至有同种元素在不同层也可精准测量。   

4.*的解谱技术：减少能量相近元素的干扰，降低检出限。   

5.高性能探测器：SDD硅漂移窗口面积25mm2探测器。   

6.X射线装置：微焦加强型射线管搭配聚焦装置。 

一六仪器研制的测厚仪*的光路交换装置，让X射线和可见光摄像同一垂直线，达到视觉与测试定位一体，且X光扩散度小；与EFP软件配合达到对焦、变焦双焦功能，实现高低、凹凸不平各种形状样品的测试；高集成的光路交换装置与接收器的角度可缩小一倍，可以减少弧度倾斜放样带来的误差，同时特征X射线可以穿透测试更厚的表层。

*的EFP算法

专业的研发团队在Alpha和Fp法的基础上，计算样品中每个元素的一次荧光、二次荧光、靶材荧光、吸收增强效应、散射背景等多元优化迭代开发出EFP核心算法，结合*的光路转换技术、变焦结构设计及稳定的多道脉冲分析采集系统，只需要少量的标样来校正仪器因子，可测试重复镀层、非金属、轻金属、多层多元素以及有机物层的厚度及成分含量。

RoHS检测及标定