GMS（Gas Monitoring System）系统

气体监控系统（Gas Monitoring System)主要应电子厂（半导体、太阳能电池板、液晶面板制造工厂 ）制程或实验室需求，其生产或实验过程需使用大量不同种类特殊气体，这些气体大多为有毒，腐蚀或易爆性之气体，一旦发生气体泄漏，在无警示状况下，可能造成现场人员安全上极大的威胁，所以为确保人身安全并提供相关系统人员品质控制操作依据，而设置气体监控系统 ，GMS系统在工厂中担任极重要之角色，能实时显示不正常之气体泄漏警报，提供监控人员进一步之处置。

GMS包括GDS（Gas Detector System) and GIS(Gas Information System)
气体监控系统主要整合

l GAS DETECTOR：气体泄露侦测器（ENVIR,GC,VMB,TOOL）

l EMO / LAU /UVIR

l 气体供应设备：GC/GR，BDGS，VMB/VMP etc.

l SCADA、Printer及相关接口设备

l PLC & Remote I/O 盘体的设备及软件撰写

l UPS不断电系统

l 温控系统：heating trace

l 其他：Scrubber, CCTV, etc.