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性能和成本的zui佳平衡，具有zui佳性价比。
高精度数字式轮廓传感器
无导头宽范围粗糙度传感器
大量程轮廓测量，微观轮廓度测量
宽范围粗糙度测量
高精度大量程粗糙度、高精度大量程轮廓测量的复合机型
测量功能
轮廓测量功能
各种类型工件表面的线要素，点要素、点与点的距离、线与线的距离、各要素的位置度包括距离、平行度、垂直度、角度、槽深、槽宽、半径，可进行直线度分析、凸度分析、轮廓度分析。
粗糙度测量功能
粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波纹度参数：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
原始轮廓参数：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
测量案例图
| 规格号 | 参数 |
| 测量范围 | X轴 0-220mm可选 |
| Z轴 0-620mm可选 | |
| Z1轴 C:±7.5mm/R:±600μm | |
| 轮廓传感器线性精度 | ≤0.07%f.s. |
| 粗糙度传感器线性精度 | ≤±(10nm + 3.5%) |
| 规格号 | SPR2000 | |
| 测量范围 | X轴 | 100~220mm |
| Z轴 | 320~620mm | |
| Z1轴 | C:0~±30mm / R：±620μm | |
| 轮廓精度 | Z1线性精度1 | ±（0.8+|0.12H|）μm |
| 圆弧2 | ±（1.5+R/12）μm | |
| ⻆度3 | ±1′ | |
| 直线度4 | 0.5μm/100mm | |
| 粗糙度精度 | 线性精度 | ≤±(5nm + 2.8%) |
| 残值噪声 | ≤0.005μm | |
| 重复性6 | 1δ≤1nm | |
| 截⽌波⻓ | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
| 评定⻓度 | λcX2、3、4、5、6、7 | |
| 驱动速度 | X轴 | 0.05~15mm/s |
| Z轴 | 0.2~15mm/s | |
| 测量功能 | 轮廓 | 各种类型⼯件表⾯的线要素，点要素、点与点的距离、线与线的距离、各要素的位置度包括距离、平⾏度、垂直度、⻆度、槽深、槽宽、半径，可进⾏直线度分析、凸度分析、轮廓度分析。 |
| 测量功能 | 粗糙度 | 粗糙度功能：Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、 波纹度参数：Mr2、RmrWa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr原始轮廓参数：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr |
