质量流量检测

与空气、燃气的使用温度、压力无关，可测量换算成标准状态下的流量。

（* 标准状态下的流量是指在1个大气压、0°C（或20°C）时的体积流量。）

宽广的检测范围

相对于较大测量流量的低流量区域，一般的气体流量计都难于检测，通过搭载μF传感器，可实现宽广范围的测量、控制。实现了质量流量计CMS的可调比100：1、大流量质量流量计CML的可调比160：1（测量范围为1,280：1）的高可调比！

适合于空气及燃气的使用量的管理、及节能的漏气管理。

快速响应

细微、热容量非常小的MEMS传感器直接与气体接触进行检测，实现了快速响应。

低圧损构造

F传感器设置在流路的壁面上，具有低压力损失的特点。适合于低圧气体流量的检测、控制。

高精度

μF传感器随时间的特性变化非常小，能长期保持高精度。

各种功能

通过控制机器积累的微电脑的技术，搭载了以前的质量流量计没有的各种功能。

瞬时／累积流量显示、燃气种类切换功能、上下限报警输出、模拟输出、累积脉冲输出、通信功能等　（* 因产品而异）

种类丰富的产品

根据使用用途，备有从5mL/min型号到500L/min型号的宽广流量区域的产品。

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