公司介绍：

德国Microworks 公司成立于 2007年, 是卡尔斯鲁厄理工学院（KIT）微技术研究所 (IMT) 衍生的子公司。通过使用X 射线和激光LIGA技术，Microworks为客户提供高精度微结构的产品。在微纳米技术领域，Microworks代表着高精度。在一个晶片内或者从一个晶片到另一个晶片，其高纵横比和精度可以远低于1µm。其产品涵盖相衬成像光栅、微齿轮、双曲型电极、精密筛、近红外滤波器（选频滤波器）、微弹簧，RF等。

产品介绍：

X射线深度光刻微加工技术：LIGA

来自Karlsruhe技术研究所与microworks GmbH的定制化高纵横比微结构

产品特点：

• 高纵横比（>100）金属或聚合物

• 立角约90°的平行侧壁（1mm高的结构偏差~1μm

• 侧壁光滑（表面粗糙度Ra 在10 nm范围）

• 横向精度在数微米范围（数厘米距离下）

• 通过双次曝光可得到多种侧壁角度

主要应用：

• X射线光栅 (Au ，Ni)

• X射线棱镜(SU-8)

• X射线狭缝/针孔(Au)

• X射线准直器 (Au)

• 高级微结构零部件(Au)