设备简介
怡和兴四门四控自动门烘箱是一种专为半导体工业生产设计的高精度热处理自动化设备，集成了自动化控制、真空环境、无氧保护、无尘操作以及高效冷却等功能，确保烘烤过程的精确性和产品的高质量。烘箱自动开关门，能与AGV（自动引导车）或晶圆机械手协作的能力，实现自动化上下料动作，提高生产效率并减少人工操作，适用于小批量自动化连续生产应用。并具有自诊断电路、过升防止器、漏电保护开关等安全功能。主要用于材料的烘干、固化、老化、热处理等工艺过程，广泛应用于半导体晶圆、玻璃基板、精密封装、精密电子及新材料等领域。

设备特点
● 高精度温度控制器，PID调节，控制精度可达0.5℃，确保烘烤过程的温度均匀性和稳定性。
● 采用自动化控制系统，集成PLC可编程逻辑控制器与高清触摸屏操作界面，实现烘箱运行的全自动化管理。
● 多腔体集成式结构，适合配合自动化整线项目，可实现本地数据储存，实时数据与MES通讯，以及与机械手动作联动等。
● 每个腔体可独立工作，采用自动开关门，能够与晶圆机械手或AGV自动引导车配合工作，实现自动化上下料动作，适用于小批量自动化连续生产应用。
● 兼容真空和充氮环境控制，实现无氧无尘烘烤，工作真空范围101kPa-10-5Pa，低残留O2（<20ppm），无尘烘烤（class100）适用于对环境要求极高的烘烤过程。
● 具备智能PID自动恒温控制，可设定开机计时、恒温计时，时间到自动警报及断开发热体，超温自动警报及断开发热体，电源缺相保护等。

● 腔体数量，开关门方式，控制方式，自动化方式以及通讯方式等可以根据项目需求非标定制。

应用领域
● 玻璃基板的烘烤，包括高温烘烤以固化表面涂层或去除水分等。
● 半导体晶圆片在光刻、涂胶、镀膜等工艺流程中的前烘烤、软烘和坚膜硬烘等步骤。
● LED芯片和光伏电池片的烘烤固化过程，确保材料的物理和化学稳定性。
● 锂离子电池制造过程中，用于极片和电池的真空烘烤，确保材料的干燥和固化。
● 光学镀膜工艺中，用于烘烤光学镜片和其他光学元件，以确保镀膜的均匀性和附着力。
● 电子组件的老化、退火、测试、固化、干燥等工艺过程，确保产品质量和性能。
● PI（聚酰亚胺）固化，银胶、光刻胶固化，镀金方案中感湿膜烘烤，硅片（晶圆）高温退火等。
● 在新材料的研发和测试中，可以提供高温和无氧环境，以研究材料在特定条件下的反应和变化。