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1、产品介绍
无氧洁净隧道炉能够在氧气浓度低至100 ppm 的气氛中，保持100级洁净度，加热温度可达 300℃ 的温度，并实现多温区烘烤产品。非常适合精密元器件晶圆，晶振退火，环氧树脂固化等热处理。连续式生产的模式，可以与前后工艺的自动化设备联动，实现自动化生产。
2、产品特点
● 结构紧凑，占地面积小
● 是多种产品类型的小批量生产的理想选择
● 箱体采用全氩弧焊焊接保证了持续的箱体密封性
● 自动充氮系统
● 配备HEPA耐高温高效过滤器构筑无尘环境
● 外部采用烤漆双重箱体结构
● 触摸屏集成控制
3、选配功能
● 无纸记录仪
● 485通讯或以太网通讯
● 氧气含量分析仪
4、产品参数
| 型号 | YH-CL100-SDL-4500 |
| 含氧控制 | 100PPM以内 |
| 过滤效率 | 0.3um,>99.99% |
| 温度范围 | Room temp. +20~300℃ |
| 控温精度 | +/- 1.0℃ |
| 温度均匀性 | ±2.5%℃ |
| 内尺寸H*W*L | 60*500*3500（mm） |
| 外尺寸H*W*L | 1850*1300*4500（mm） |
| 电源 | 3 phase AC380V |
