产品特点PRODUCT FEATURES

怡和兴研发的半导体晶圆烤箱，可执行晶圆级预烧和磁性退火等前道半导体功能， 以及组装/晶圆级包封功能（例如黏晶固化、稳定性和预烧测试以及热冲击），以满足其退火、干燥及热分解需求，还满足在大规模半导体封装和组装生产中对洁净工艺、低氧化、粘合剂和聚合物的高效固化等要求。

产品特点

1、利用强制通风作用，烘箱内设有风道，温度均匀度1.5%，物料干燥均匀。

2、采用进口数字型智能温度控制器，定值恒温控制模式，PID自动演算，控温精度±0.2℃，带传感器断线报警功能，超温抑制，超调功能，控温准，过冲低，带超温警报保护功能，确保产品运行安全。

3、双流量计节氮系统，双延时充氮控制，无氧、低氧环境下节省氮气消耗量。

4、箱门于箱体结合处采用耐高温硅橡胶条密封迫紧，保温性能好，抗老化，环保无污染。箱门把手采用提拉式锌合金机械把手，机械强度高，耐磨损，开关门灵活。

5、采用LED数字型时间计时器，计时0~9999H/M/S。设定温度→设定保温时间→时间到结束END提示-自动示切断加热-警报完成指示。

产品参数

PRODUCT PARAMETERS

半导体行业烤箱基本配置：

1、温度范围：RT～180℃；

2、内箱尺寸：可定制；

3、箱体数：2个，上下布置，可定做；

4、内胆材质：SUS321镜面不锈钢，无缝焊接保护被加工件不受任何污染；

5、升温时间（空载）：1.5h；

6、加热器：特制无尘加热器；

7、超温保护器，马达过载保护器，蜂鸣器，故障指示灯，无熔丝开关。

选配组件

1、程序控温：可配置程序型温度控制器，实现多组程序控温。
2、测温功能：多点测温查看及记录功能。
3、风门调节：可加装风量调节装置，亦可实现风门开关程序控制。
4、温度记录仪：可配置多通道温度记录仪，打印机或RS485接口，用于连接打印机或PC设备，监控记录温度变化状况。
5、快速降温系统：实现快速升降温的功能。

定制服务

CUSTOM SERVICE

深圳怡和兴可以提供不同程度的均匀性、尺寸、温度范围；如果您有特定的要求或规格，请根据您的需求与我们联系，以便我们确保设备的设计、测试和调整能够满足您的要求。