详细介绍

长度计-CERTO

海德汉-CERTO

非常高的准确性	19°C至21°C时，系统精度可达±0.03μm
非常高的重复性	重复性典型值<0.02μm，测量范围为25 mm
Zerodur规模	在0°C和50°C之间接近0 ppm / K标度膨胀提供真实的测量值
由Invar做的测量身体	测量回路中的部件由Invar制成 ≈1 x 10-6 ppm / K长度测量仪的热膨胀
滚珠轴承导轨	低摩擦球轴承导轨高精度测量回路

测量范围	25 or 60 mm
系统准确性	± 0.1 µm With linear error compensation up to ± 0.03 µm
重复性	CT 2500: < 0.02 µm CT 6000: < 0.03 µm
短程精度	< 0.03 µm
柱塞驱动	By motor or coupling
接口	11 µAPP