Alicat的新版质量流量计和质量流量控制器拥有的流量精度新水平。通过改进的温度和压力补偿，我们的流量测量更能抵抗温度和压力变化带来的影响。电路板全部重新设计，增加了信噪比，并大大提高了原始传感器数据采样的分辨率。这些改进使得本就非常出色的Alicat质量流量仪表成为市场上的差压流量测量系统之一。

Alicat设备现在比以往任何时候都更加

Alicat质量流量仪表的校准精度提升至±0.6%Rd或±0.1%F.S.，两者以较大者为准(高精度校准精度提升至±0.5%Rd或±0.1%F.S.)

而我们老版本的流量仪表，标准校准精度为±(0.8%Rd +0.2%F.S.)，高精度校准精度为±(0.8%Rd +0.2%F.S.)。

量程比和分辨率规格从200:1和4位总数字提高到10000:1和5位总数字，并进行了补偿改进，使流量分辨率规格提高了10倍。

图一 Alicat 新老版本精度对比

用一个Alicat流量设备替换多个不同量程热式MFC

我们的可用量程范围明显高于竞争对手；由于量程范围限制，在其他热式流量计/控制器的系统中可能需要两台MFC，但Alicat只用一台就可以覆盖全量程。例如，如果您需要控制100 SLPM到100 SCCM之间的氧气流量，一个Alicat MFC可以在整个范围内提供的、可重复的控制。大多数基于热式的MFC则需要两个或多个MFC才能完成相同的任务。我们能为客户实现：

• 降低总的硬件成本
• 降低运营成本
• 减少备件和库存资金
• 不再基于单一气体测量，内置98+预置气体，无需额外校准，减少备件需要
• 简化设置
• 方便随时更换

精度的提高意味着工艺的改进：

• 气体混合更，减少气体浪费
• 研发实验中的测量更，在扩大生产规模时做出更好的生产决策
• 更高的精度可以为其他流量设备的校准提供更高的标准

分辨率的提高意味着更精细的控制：

• 生物反应器，制药，激光等敏感应用可以依赖Alicat来实现精细控制。

精度计算示例：

要使用新规范计算Alicat仪表的精度，您需要了解流量仪表的量程及其读数。

假设一个标准校准的M系列质量流量计的全量程为10 SLPM，读数为5 SLPM。对于标准精度规范，16.7%的满量程值是一个转折点。当读数低于满量程的16.7%时，用满量程的0.1%来计算误差更大一些。当读数高于满量程的16.7%时，用读数值的0.6%来计算误差更大一些。由于5SLPM的流量高于满量程的16.7%，故精度计算基于流量的实际读数：

精度= ±0.6%的读数值 = (0.005)(5 SLPM) = ±0.03 SLPM

如果流量读书低于满量程的16.7%，如0.5SLPM，此时精度计算是基于满量程值：

精度= ±0.1% 的满量程值= (0.01)(10 SLPM) = ±0.1 SLPM

对于高精度规范，转折点是满量程的20%。采用前一个例子来计算，结果如下：

读数为5SLPM时，精度= ±0.5% 的读数值= (0.005)(5 SLPM) = ±0.025 SLPM

读数为0.5SLPM时，精度= ±0.1% 的满量程值= (0.01)(10 SLPM) = ±0.1 SLPM

图二 新版本较老版本精度提升比例

实用术语：

满量程：设备大的校准读数。对于双向流设备，请参阅相关规范表以了解完整的规格说明。

分辨率： 读取/控制变量的小位数。

% Rd:  取决于实际读数值的精度指标，与满量程无关。用该数值乘以实际读数值就能得到在某一特定读数时的精度。

% F.S.:  取决于满量程值的精度指标，与实际读数值无关。用该数值乘以设备校准的满量程值就能得到特定设备的精度。注意：双向流设备可能具有不同的满量程值，详细信息请参阅各个规格表。