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CDE ResMap 四点探针 ResMap 273
CDE ResMap–CDE 公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺,以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控,既超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家*的
CDE ResMap Model 273
Resmap 273
在178型的技术基础上,ResMap273是半导体行业30毫米桌面四点探针仪。273型扩展了ResMap原来一些产品的性能,实现了300毫米的技术进步和大型衬底膜特征。外形小巧,坚固耐用,ResMap创造了同等的准确性和可重复性。
晶片传送 | 手动加载 | 电脑系统 | 奔腾系列;windows XP家用(不带显示) | |
晶片尺寸 | 2” - 12” | |||
SECS-II 选项 | 有 | |||
直径 | 12.2” | |||
映照模式 | 极投影地图 (对准缺口/平形,跨越,或者持平);矩形图(选择内侧边缘排除);线扫描(直径,半径或沿直径任意点,最小步进0.1毫米点),用户自定义(模板) | |||
面积 | 8.6” x 8.6” | |||
典型测量时间 | 每site1秒 | |||
平面图 | 等高线(间距选择,1/3σ,固定和自动%),3D,线,数据图,直方图,数据序列,径向和角分布,趋势图的不同模式可供选择 | |||
输出 | 每个晶片1分(29sites) | |||
测量范围 | 2 mΩ/� - 5 MΩ/� (可以优化为1 mΩ/�) | |||
重复率 (1σ, 典型): | ≤ ±0.02% (静态或Rs) ≤ ±0.02%(动态附近点) | |||
数据 | 所有ResMap数据文件可以复制到如Excel®进行进一步的分析。 | |||
准确度 | ≤ ±0.5%采用NIST可追溯性ResCal标准
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周边除外范围 | 1.5毫米(探针中心到膜边缘距离)
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设备 | |
吸尘系统: | 不要求真空 |
交流功率: | 100V to 240V < 10 KVA |
尺寸(英尺): 宽*深*高 | 15” w x 18”d x 10”h; 桌面(不包括桌面) |
2. 验收测试方法
· 精确度:
精确度测量方法:用标准片标定后,连续测试标准片5次,取平均值与标准值对比。
· 重复精度:
用标准片标定后,连续测试样品同一点5次,按如下公式计算:(Max-Min) /(Max+Min)(%)。
· 稳定度:
用标准片标定后,对同一样品的同一个点,依次在 1秒,30秒,1分钟,5分钟,15分钟,30分钟,45分钟,1小时测量,按如下公式计算:(Max-Min) /(Max+Min)(%)。
光伏测试专用美国ResMap四点探针
CDE ResMap的特点如简述如下: * 高速稳定及自动决定范围量测与传送,THROUGHPUT高 * 数字方式及每点高达4000笔数据搜集,表现良好重复性及再现性 * Windows 操作接口及软件操作简单 * 新制程表现佳(铜制程低电阻率1.67mΩ-cm及Implant高电阻2KΩ/□以上,皆可达成高精确度及重复性) * 体积小,占无尘室面积少 * 校正简单,且校正周期长 * 可配合客户需求,增强功能与适用性 * 300mm 机种可以装2~4个量测头,并且
可以Recipe设定更换。
CDE ResMap–CDE 公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺,以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控,超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家*的。