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激光微调技术的工艺性能
激光微调是利用数控激光切割机的激光器可聚焦成很小的光斑,能量集中,有选择的气化部分材料来制造微电子元件的一种方法。
用激光对电阻、电容进行精密微调,加工时对临近的元件热影响极小,不产生污染,易于计算机控制,具有速度快、效率高、可连续监控等优点,与常规微调方法相比,还具有精度高、再现性好和阻值不随时间变化的特点。
激光微调广泛用于厚、薄膜元件和电路的参数微调,包括电阻器、电容器、石英谐振腔、单片滤波器的参数调谐,混合集成电路放大器、分压器、稳流器、数字模拟与模拟数字交换器、高频振荡器、运算放大器等以及石英压电设备(包括振荡器、滤波器)的功能调节,半导体集成电路的微调,消除了影响多种集成电路精度的种种限制。
由于激光光束能精确的定向、定位在小尺寸区域内,并以规定的形式结合小的热作用区,可对薄膜元件进行精密单件微调,因加工中没有中间(化学)过程并可在大气中加工,所以可实时检验结果,并实现激光加工过程的自动化,具有精度高、工艺简便和高效的特点。
薄膜电阻和厚膜电阻之间的渊源:
1、膜厚的区别,厚膜电路的膜厚一般大于10μm,薄膜的膜厚小于10μm,大大多处于小于1μm;
2、制造工艺的区别,厚膜电路一般采用丝网印刷工艺,薄膜电阻采用的是真空蒸发、磁控溅射等工艺方法。厚膜电阻一般精度较差,10%,5%,1%是常见精度,而薄膜电阻则可以做到0.01%万分之一精度,0.1%千分之一精度等。
同时厚膜电阻的温度系数很难控制,一般较大,同样的,薄膜电阻则可以做到非常低的温度系数,如5PPM/℃,10PPM/℃这样电阻阻值随温度变化非常小,阻值稳定可靠。所以薄膜电阻常用于各类仪器仪表,科研,电源,电力设备,电子数码产品等。价格相对厚膜电阻来说会比较贵一些。
厚膜电阻还是薄膜电阻两者都需要达到一定的精度跟稳定度,只是两者的要求不一样。武汉三工精密生产的激光调阻机就解决了厚膜电阻跟薄膜电阻在精度跟稳定度上不易控制上的问题,并且具有调阻效率高、使用成本低、高自动化运行的优点。
LT7130激光调阻机 设备特点
适用厚膜电路调阻,电子模块功能修调
高精度,高速度,高可靠性
订制的进口激光器,切口质量高
直线电机XY平台分步重复
矩阵测量系统,配备IEEE-488(GPIB)接口
强大软件编程功能,满足各种不同应用
LT7130激光调阻机应用行业
适用于厚膜、薄膜电阻的激光调阻,电子电路的功能修调、输出信号的修调。广泛应用于厚膜电路、汽车电子、传感器等领域。设备配置高,适合大规模量产。
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