LCL-13   薄膜测厚仪

LCL-13 薄膜测厚仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-04-09 14:48:14
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天津良益科技股份有限公司

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产品简介

仪器简介:LCL-13型薄膜测厚仪根据多次反射光谱相干原理,本仪器可提供非接触测量薄膜厚度,折射率,吸收系数等;采用软件版本,具有纳米级精确测量和方便使用等优点;测量方便度和准确度远好于常用光学椭偏仪

详细介绍




仪器简介:

   LCL-13型薄膜测厚仪根据多次反射光谱相干原理,本仪器可提供非接触测量薄膜厚度,折射率,吸收系数等;采用软件版本,具有纳米级精确测量和方便使用等优点;测量方便度和准确度远好于常用光学椭偏仪。是薄膜研究,光学镀膜,和半导体生产*的测量研究仪器。



实验内容:

1学会薄膜和涂层的厚度测量及折射率和吸收系数的测定


     

主要配置和参数:

序号

名称

规格和参数

1

厚度范围

20nm-50um(只测膜厚),100nm-10um(同时测量膜厚和光学常数n,k)根据薄膜材料的种类,其范围有所不同

2

准确度

<1nm或<0.5%

3

重复性

0.1nm

4

波长范围

380nm-1000nm

5

可测层数

1-4

6

样品尺寸

样品镀膜区直径>1.2mm

7

测量速度

5s-60s

8

光斑直径

1.2mm-10mm可调

9

样品台

290mm*160mm

10

光源

长寿命溴钨灯(2000h)

11

光纤

纯石英宽光谱光纤

12

探测器

进口光纤光谱仪

13

电源

AC100V-240V,50Hz-60Hz

14

重量

18kg

15

尺寸

300mm*300mm*350mm










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