SU5000-日本电子扫描镜SU5000-深圳市三昊仪器设备有限公司手机版

详细介绍

日立SU5000高智能多开放式场发射扫描电镜方案
服务电话

*部分：配置（P2）
第二部分：技术参数(P3)

*部分：配置报价

序号	货号	设备名称	数量	备注
1	主机	Model SU5000 SEM SU5000 型场发射扫描电镜主机 Lower Secondary Electron Detector 低位二次电子探测器 100x50mm 5-axis motorized stag 100x50 五轴马达驱动样品台 Objective movable aperture holder: 4 holes with click-stop design(20, 30, 70, 150 µm dia.) 4孔物镜活动光阑杆（孔径20, 30, 70, 150 µm），附带自清洁装置 Rotary pump 机械泵 Turbo Molecular Pump(TMP) 250 L/s，x1 分子泵，250 L/s x1 Ion pump: 30 L/s 20 L/s 离子泵：30 L/s 20 L/s Control System,including PC,Keyboard,Mouse,Rotary Knob 控制单元，包括电脑、键盘、鼠标、多功能旋钮板 EM Wizard 电镜助手功能（高自动化） Connector for DBC 能谱接口（外扫描控制器） Auto Standard sample correction 自动标准样品校正	1套
2	510-9808	SDM with CD-Measurement Function for SU5000 14S 高精度测量软件（离线版，允许10台电脑使用）	1套
3	511-5739	Auto-Transformer for SU5000 15K 变压器, 7kVA	1个
4	耗材	耗材（光阑、导电胶带、泵油等）	1套
5		空压机	1套
6	国内采购	显示器	1套	-
报价：美金

第二部分：技术参数

高自动化场发射扫描电镜技术参数

1. 运行环境：
1.1 房间温度：15 ~ 25℃
1.2 相对湿度：小于60%
1.3 适用电源：单相，220V±10%，50/60Hz，4kVA，要求连续供电
1.4 地线：接地电阻不小于40Ω
2.技术参数
2.1 组成：主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统)，自动变压器，计算机，标准工具及附件。
2.2 电子枪：肖特基热场发射电子枪，引出电压, 2.5kV – 4kV （*小步进10V）
2.3 分辨率
2.3.1 SE分辨率 30kV：1.2nm
1kV:3.0nm
1kV:2.0nm（减速I）
1kV：1.6nm（减速II）
2.4 加速电压：0.5 ~ 30kV （减速下*低电压0.1kV）
★2.5束流：高、低真空下均大于200nA（高、低真空模式下同时满足，有利于检测能力）
★2.6放大倍率
底片倍率：10–600,000x；显示器倍率：30–1,500,000x （1280x960像素）；
可同时显示以显示器为准和以底片为准的两种模式的放大倍率
★2.7 物镜光阑：4孔可调式，光阑孔径（150/70/30/20um），内置标配加热自清洁装置（以便于增加光阑使用寿命），含位置感应器
2.8 扫描线圈：两级电磁透镜偏转
★2.9透镜系统：3级电磁透镜系统
2.10像散矫正单元：八极电磁消像散
★2.11抽屉式大开仓结构，样品台安装在仓门上。
★2.12样品台驱动：5轴优中心马达驱动样品台。
X：±100mm；Y：±50mm；Z：3-65mm；★ T: -20 to 90 deg；R: 360deg
2.13 样品大小：≥200mm（直径），≥80mm（高度）
2.14 探测器：配备独立的二次电子探测器
2.15 图像导航：自动图像导航，且拥有三维图像导航功能
2.16 真空系统：
真空度：10^-7Pa (电子枪)；7×10^-4Pa (样品室)
分子泵（磁悬浮型）250L/s×1；
机械泵133L/min×1台；
离子泵30L/s×1,20L/s×1台
保护：断电、漏电、真空保护
★2.17 仪器标配特殊材质标准样品，具有自动标准样品校准功能。无需工程师维护，便于提高电镜实时精度。
★2.18配备高自动化辅助操作软件高级功能：：标准模式和高级模式，观察助手模式，像散调节训练模式，操作向导，应用助理，倾斜辅助，样品台记忆和移动，图片导航，操作条件文件保存，放大倍率预设，视频输出。（提高便捷自动化使用功能）
2.19 扫描模式：至少包含Rapid scan、Fast Scan、Slow scan、Reduce scan、CS scan、spot mode
2.20 图像储存：BMP、TIFF、JPEG，640×480，1280×960，2560×1920，5120×3480像素
2.21 捕捉的图片可存储在临时图片栏内，可选择单张存储或批量存储，可自动连续命名
2.22 数据记录：放大倍率，加速电压，工作距离，日期，时间，编号，信号类型
2.23 捕捉的图片可存储在临时图片栏内，可选择单张存储或批量存储，可自动连续命名
2.24 自动功能：自动校准，自动亮度对比度，自动对焦，自动消像散和对焦控制，自动开启，自动电子束偏移
★2.25 扩展接口：至少为12个，以便于后期扩展功能
★2.26 用户可自行完成红烘烤维护和镜筒合轴维护

产品简介

详细介绍