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单门不锈钢洁净储物柜全不锈钢结构提供晶圆临时存放仓库,用于物体的洁净保存
单门不锈钢洁净储物柜FFU有初、高效两级过滤网。风机从FFU顶部(或侧面)将空气吸入并经初高效过滤器过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的均匀风速送入柜内,经过保存物体后回到车间。FFU为模块化安装,便以维护。可集中控制。外壳用304双镜面不锈钢。
风 量:1200m3/h
风 速:0.45m/s,+-20%
洁净度: Class 10及Class 100 (*符合美国联邦标准209E)
HEPA效率:99.99995%,0.12um
噪 音::测试点距离下0.3mm, 风速0.45 m/s.﹤52db
高效过滤器:美国
风 机:德国或日本
工作环境:百级或以上洁净车间
高效过滤器压差显示,可提示过滤器受堵情况.
选用的是直流FFU, 噪音低, 振动小,耗电省,
柜体采用SUS304双镜面1.2mm不锈钢制作, 柜门采用SU304双镜面1.5mm不锈钢制作. 并采用局部补强结构设计,层板高度支承条,使层板方便可调。
柜体门锁:外置式磁吸式把手锁
4个防静电脚轮
4个调整脚
FFU有一个集中控制盒, 用于对储物柜的集中控制高效过滤器压差表 美国风机无级调速
1.提供100级(ISO5)130级(ISO4)洁净环境。
2.单元独立控制,节省存储能源。
3.*先出操作指示,保证产品质量