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合肥市所在地
回转放气炉 BTF-700C-III-R
面议间歇式CVD回转炉 BTF-1200C-III-150-CVD
面议智能型大口径高真空退火炉 BTF-1100C-IIIA-05
面议单温区立式搅拌炉 BTF-700C-VT-50
面议智能升降钟罩炉 BTF-1200C-BELL
面议小型浮动催化系统 BTF-1500C-CVD
面议大口径立式高温炉 BTF-1200C-VI-VT-530
面议箱式滑轨热压炉 MF-1200C-SL-VP
面议公斤级回转炉 BTF-1200C-III-R-150
面议粉体碳纳米管生长设备 BTF-1200C-3VT-5Z
面议1200℃双温区CVD系统(低真空、高真空)型号:BTF-1200C-II-CVD
面议双温区滑轨式PECVD系统PECVD-II-500A
面议设备特点
此款CVD系统前端配有可加热到400℃的预加热器,辅助二维材料蒸发,后端为双温区管式炉,温度控制精确,操作简便。并配质量流量计系统和真空系统,可以准确的反应腔体内部的气体压力和气体流量,对于做低压CVD实验非常实用,重复性好。
硫粉预热器 | 工作温度:400℃ 温度:1200℃ 升温速率:≤30℃/min 推荐升温速率:10℃/min 控温方式:智能化30段可编程控制 工作电压:AC220V 额定功率:800W 控温精度:±1℃ 加热元件:电阻丝 |
加热区参数
| 额定功率:5kw 温度:1200℃ 工作温度:1100℃ 升降温速率:≤30℃/min 炉管尺寸:高纯度石英管Φ25/Φ50/Φ60/Φ80/Φ100X1650mm (管径可选) 加热区长度:200+200mm 恒温区长度:290mm 控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。 标准配件:石英管1支,莫来石管堵2对,不锈钢法兰1套,硅胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支; 尺寸:约 550×380×600 mm(炉子) 约:1700×380×620 mm(炉子+滑轨) 可选配单温区、双温区、三温区等加热区。 |
气路系统参数
| 质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可选) 准确度:±1.5% 线性:±0.5~1.5% 重复精度:±0.2% 响应时间:≤10 sec 工作压差范围:0.1~0.5 MPa 压力:3MPa 接口:Φ6,1/4'' 显示:4位数字显示 工作环境温度:5~45高纯气体 内外双抛不锈钢管:Φ6 压力真空表:-0.1~0.15 MPa,0.01 MPa/格 截止阀:Φ6 连接头类型:双卡套不锈钢接头 可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计 |
低真空系统参数
| 抽速:10m³/h 极限真空度:5*10-1pa 电源:220V 50HZ 电机功率:0.4kw 进排气连接口:KF25 用油量:1.1L 电机转速:1440rpm 工作环境温度:5-40℃ 噪音:≤56db 电阻真空计参数: 1.配用规管:电阻规 2.测量范围: 105 ~10-1Pa 3.测量路数: 1路 4.控制范围: 5×103~5×10-1Pa, 5.控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载, 6.电源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz, 7.功耗: 20W |
使用注意事项 | 炉管内气压不可高于0.02MPa |