型号：

200/1200

规格：

200/1200

抽气速率（l/s）

1200L/S

压缩比N­­­₂

>10_­­­⁹

压缩比H­­­₂

>8×10⁴

极限压强(Pa)

<2×10^-8

<1×10^-7

高真空法兰

LF200

CF200

排气口法兰

KF40

启动加速时（min）

<5min

电机转速（n/min）

24000n/min

小不平衡（mg）

15mg

建议采用前级泵

机械泵8～15L/S

充油量（ml）

/

安装方式

垂直±5°

冷却方式

水冷或风冷

冷却水温度

<20℃

环境使用温度（℃）

风冷<32℃ 水冷<40℃

泵体烘烤温度（℃）

<100℃

泵重量（kg）

36kg

外形尺寸（mm）

Φ320×428