型号

  200/1200

抽气速率（l/s）

   1200L/S

压缩比N­­­₂

   >10_­­­⁹

压缩比H­­­₂

   >8×10⁴

极限压强(Pa)

   <2×10^-8 

   <1×10^-7

高真空法兰

   LF200

   CF200

排气口法兰

   KF40

启动加速时（min）

   <5min

电机转速（n/min）

   24000n/min

小不平衡（mg）

   15mg

建议采用前级泵

   机械泵8～15L/S

充油量（ml）

   /

安装方式

   垂直±5°

冷却方式

   水冷或风冷

冷却水温度

   <20℃

环境使用温度（℃）

   风冷<32℃  水冷<40℃

泵体烘烤温度（℃）

   <100℃

泵重量（kg）

   36kg

外形尺寸（mm）

   Φ320×428

200/1200型复合质谱分子泵技术参数表