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北京市所在地
生产的系列热工设备:
L4811Ⅱ/RZQ立式真空烧结退火炉
【产品简介】
真空烧结退火炉是为满足半导体器件和磁性材料行业的大批量、高生产率的要求而设计的一种较*的烧结设备,主要用于管芯和管座的烧结,也可以做扩散,退火设备用。是生产半导体器件和磁性材料烧结、退火工序中的重要设备。
【产品特点】
●加热元件均布炉膛内,分布合理;
●炉盖可设有热风循环装置,可使炉罐内的气氛及温度均匀;
●可配真空泵抽气,增加换气速度,气氛更纯净;
● 有保护气氛,经退火后产品无氧化,消除加工应力,提高铁心磁性能,降低铁损;
● 炉温控制采用PID自动调功平滑控温。
【主要技术指标】
| 立式真空烧结退火炉 | 双工位立式真空烧结炉 | 卧式真空烧结退火炉 |
工作温度 | 400--1250℃ | 800--1200℃ | 400--1250℃ |
单点温度控制精度 | ≤±1℃/24h | ≤±2℃/24h | ≤±1℃/24h |
恒温区长度及精度 | ≥200mm±1℃ | ≥400mm±1℃ | ≥400mm±1℃ |
升温功率 | ≤12KVA | ≤22KW | ≤16KVA |
升温时间 | (室温至1050℃)≤75min | (室温至1000℃)≤50min | (室温至1100℃)<75min |
保温功率 | ≤6KVA | ≤11KVA | ≤8KVA |
重新定值重复性 | ≤±1℃ | ≤±1℃ | ≤±1℃ |
重开机 重复性 | ≤±1℃ | ≤±1℃ | :≤±1℃ |
冷态 真空度 | 5*10-3Pa | 3*10-3 Pa | 5*10-3Pa |