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MODEL | | VMS-2010F | | VMS-3020F | VMS-4030F | VMS-5040F |
(X/Y/Z轴)量测行程(mm) | | 200*100*150 | | 300*200*150 | 400*300*150 | 500*400*150 |
外形尺寸 | | 540x560x850 | | 760x600x900 | 970x670x940 | 970x770x940 |
机台底座材料 | 高精度花岗石 | |||||
照明系统 | 表面光源与透射光源均用LED,亮度可调 | |||||
CCD | 高解析度日本索尼彩色CCD | |||||
X,Y轴量测精度 | (3+L/200)um | |||||
放大倍率 | Step Zoom光学放大率:0.7--4.5X,影像放大率:28--180X | |||||
光学尺解析度 | 1 um | |||||
重复性 | 2 um | |||||
操作方式 | 手动 | |||||
电源供给 | 110V/220V |