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原子散乱表面分析仪器

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产品简介

Pascal Sputtering system is suitable For Accurate Multi Layer Deposition，Higher Deposition Rate，Excellent Film Thickness Distribution.

日本Pascal公司的(TOFLAS)原子散乱表面分析仪器是应用于表面分析 & 元素分析的。

·表面结构可视觉直观评估

·*不受电场和磁场影响in-situ 分析

·单一原子层或结晶尺度的成长监测

·薄膜, 超薄膜, 单层薄膜, 石墨烯 …等绝缘, 半导体 & 金属

·最表面数层非常灵敏

·加热范围： ~1000 ℃

·能适应广泛的基底材料背景

·不适合高氧气分压环境

·激光加热： ~1300 ℃

·*的耐高温能力

·直径： φ10mm

·灯丝加热： ~600 ℃

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