·简洁的桌上型，移动推车或控制台架结构
·Direct re-entrant流孔板，差式泵，以达到宜的灵敏度
·软离子化技术，分析复杂有机物，或表观MS研究
·MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制
·气动阀自动控制；出现电力不足或压力过大等不安全状况时可启用手动隔离装置
·自动、同时数据取得、分析，实时显示、报警

·质量数范围：   1～200 amu(标准配置); 300、510、1000amu可选

·高灵敏度：     5ppb

·取样压力：     10^-4mbar～1mbar 标准配置

                       1mbar～30bar 选配

·稳定性好：     24h以上，小于峰高的±0.5%

·过程控制开关

·信号输入、输出接口

Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)

AP0002 - Surface Characteristics of Parylene-C Films in an Inductively Coupled O2/CF4 Gas Plasma (211 KB)

Partial Pressure Control in Reactive Sputtering (343 KB)

HPR-30 Monitoring TiN Depsoition (113 KB)