·带有观测窗和样品加热台的真空泵
·工作站含有操作软件，可自动控制样品温度
·TPD常规分析，包括质谱峰的积分和反褶积计算等

· 密闭、自动装样器

·智能操作软件控制实验操作

·带脉冲离子技术检测器的三级过滤四极质谱仪（Hiden 3F/PIC）
·质量数范围：          1~300、510、1000amu
·快速质谱数据采集：  ＞500数据点/秒
·样品可加热到1000℃

Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)

TPD Workstation Flyer (3.2 MB)

Instruments for diagnostics and analysis of thin films

TPD Workstation Software (906 KB)