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产品概述：
KJ-T1200 CVD是具有80mm直径氧化铝管真空泵和三通道质量流量计气体流动系统的管式炉。它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。
技术参数：
| 型号 | 带有3个MFC气体通道的 KJ-T1200 CVD | |
| 显示 | 发光二极管 | |
| 温度 | 1200℃短时间 | |
| 连续工作温度 | ≤1100℃ | |
| 加热速率 | 建议：0〜10℃/ min | |
| 温度区 | 220毫米+220毫米+220毫米 | |
| 加热元件 | 钼电阻丝 | |
| 热电偶 | K型 | |
| 温度控制精度 | ±1℃ | |
| 管尺寸 | 80x1200mm（外径x长） | |
| 管座 | 包括两个纤维状陶瓷块，用于阻止管子内部的热辐射（在加热之前，陶瓷块必须插入炉膛中）。 | |
| 温度控制 | 通过SCR功率控制进行PID自动控制 | |
| 程序和斜坡 | 30步可编程 | |
| 真空法兰 | 带阀的不锈钢真空法兰 | |
| 功率 | 220V，50 Hz，单相6KW | |
| 质量流量计 | 三种精密质量流量计： MFC 1：气体流量范围为0〜100 sccm MFC 2：气体流量范围为0〜200 sccm MFC 3：气体流量范围为0〜200 sccm （气体流量范围可根据您的要求） 底壳上装有一个气体混合罐，底壳左侧装有3个不锈钢针阀，以手动控制3种气体的混合 下面的照片是4 MFC供参考。3 MFC将带有3个显示器 | |
1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障，均予以免费维修。保修期满后，仍提供终身的、优质的维修服务。
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