等离子体表征分析仪

ESPion 高级朗缪尔探针

等离子体表征分析仪 

Hiden  EQP是一台结合质量和能量分析的仪器。用于分析

ESPion  Langmuir  静电等离子体探针适用于RF和DC等离子

等离子体中正、负离子、中性粒子以及自由基的种类和

体反应器，自动测量、在线显示和存储测量参数。ESPion

能量分布。

在被动射频补偿方面处于*地位，在所有商业化探针

● 刻蚀/沉积过程研究

● 磁控溅射沉积过程分析

中ESPion具有高的屏蔽阻抗(4.25Mohm  at  13.56  MHz

cf.100kohm)，也是较快速的脉冲等离子体探针。具有自

● 离子注入/激光烧蚀

● 残余气体分析/泄漏检测

清洗循环功能，防止探针*污染。

● 脉冲等离子体研究

● 蚀刻/沉积/清洁等离子体

● 离子密度 (Ni & Gi)

● 粒子通量、方向、能量和原子状态

● 质量数：1～300、510、1000、2500amu

● 脉冲等离子体操作

● 等离子体电势

● 1000eV能量选配；悬浮电位可选至10keV

● 电子密度(Ne)

● Debye长度

● 电子附着分析选配

● 电子温度(Te & EEDF)

● 悬浮电位

PSM等离子体质量和能量分析仪

HPR 60分子束取样质谱仪

PSM是一台差式泵质谱仪（In-Line Plasma Analysers for

HPR  60适用于常压下的高速度、无碰撞的分子束分析，

Neutrals, Radicals and Ion Analysis），分析等离子过程

即常压下的等离子体过程分析/表征

中的二次离子和中性粒子。

● 反应动力学

● 离子束蚀刻

● 等离子体沉积研究

● 常压等离子体诊断

● 离子植入/激光烧蚀

● 残余气体分析

● 燃烧研究–火焰离子化分析

● 灵敏度高/极稳定的3级过滤四极杆，质量数范围至2500amu

● 催化研究

● 脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围

● CVD/MOCVD–金刚石生长研究

● 能量分析选件，标准±100eV（1000eV可选 ）

● 大气辉光放电分析

● 具有可调谐的离子源，用于表观势能谱

● 集束分析

● 信号选通分辨率1μs，

● 闪脱附研究

● 标准分析中性粒子、自由基，正，负离子分析

● 低、高能量分析选项，分析中性粒子、离子、自由基

● Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可选，高压操作可选

● 20、100、1000 mbar取样压力选择