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FitTech裸晶测试仪整合型LED晶粒晶圆点测机
型号：APT 6000
1. 机构部分：
X、Y、Z、θ轴(精度详见规格)
Chuck table（非导电盘&导电盘，共2块）
XYZ 调整座 2 座
Edge Sensor 2 座
彩色CCD 1组，1倍镜头，供扫描定位用、供探针定位、外观检视用
掀开式遮光罩
电控箱
分光卡：350nm-1050nm
选配部分：
清针模块 (毛刷 & 贴片 & 吹气)
è 毛刷及贴片为耗材，依客户的使用状况决定更换次数
ESD 模块：HBM/MM ± 4 KV
è Relay 寿命保证：6个月或2亿次(以先到为主)
2. 测试机部份
电源供应器：SF
Tester基本架构图如下：APT6000
3. IPC 部 分
*处理器：双核心 CPU G3420 3.2 GHz
存储器：4G
硬盘：500G
17”LCD或以上荧幕、光学鼠标、键盘
作业系统 : Win 7
项目 | 描述说明 | 规格 |
工作面积 | 2~7.8英寸 | 198mm |
卡盘 | 平面化 | ±0.01 mm |
X 轴 | 大行程 | 200 mm |
分辨率 | 0.5 μm | |
精度 | < 10 μm over 100 mm | |
Y 轴 | 大行程 | 300 mm |
分辨率 | 0.5 μm | |
精度 | < 10 μm over 100 mm | |
Z 轴 | 大行程 | 8 mm |
分辨率 | 1.2 μm | |
精度 | < 5 μm over 30 mm | |
θ axis | 轴旋转范围 | ± 30° |
分辨率 | 0.0018° | |
精度 | < 10 μm over 160 mm | |
机器视觉 | 摄像机 | CCD |
照明 | 遥控 | |
焦距 | 手动调整 | |
校准 | 自动校准 | |
CCD 分辨率 | 1280*960 像素 | |
透镜放大倍数 | 1x | |
屏显 | 6.4mm × 4.8 mm |
l 测试规格.
l 测量表 : SF
项目 | 单位 | 规格 |
机器尺寸W × D × H | mm | 930x900x1670 |
机器重量 | Kg | 600 |
电源 | V | 110 |
电源电流 | A | 13 |
气压 | Kgf/cm² | 5 |
空气流量 | NL/min | 5 |
空气管直径 | mm | ψ10 |
真空压力 | mmHg | -660 |
真空流量 | NL/min | 40 |
真空管直径 | mm | ψ6 |
FitTech裸晶测试仪整合型LED晶粒晶圆点测机
