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| 微小型热式气体质量流量计 关键字：流量计,孔板流量计,浮子流量计,传感器,质量流量计,,,,,,, | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
一、 产品概述 采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS（ Microelectromechanical systems）气体质量流量计和流量控制器，主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。 该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿
2.2 流量范围： DN3 30-300ml/min DN6 60-600ml/min DN8 80-800ml/min DN10 100-1000ml/min 注：(a)以上流量的测量介质为空气而言； (b)以上流量的标准状态20℃，101.325kPa。 (c) 每个口径量程范围均可扩大 (d)特殊需要可联系厂家单独标定 2.3 流量测量准确度：±1.5%FS；±2.5%FS 三、 工作原理
式中：气体流动方向为ｘ，速度为ｖ，ａ为扩散率。 如上图（式）所示，当气体流过芯片时，将会带走热量，通过质量流量qm和电压V的对应关系来计算流体的质量流量。
1、产品集成度高，集瞬间流量显示、累计流量显示和信号输出一体，并可实现自动调节、控制阀门。 2、μf微流量感热式传感器采用大规模集成电路生产技术和材料加工技术，使流量计的微流量测量灵敏度显著提升。 3、微小流量气体测量，ml/min级的微流量测控，实现微小流量测量的数字化。 4、单个芯片的流量特性的微处理技术，使流量计的量程范围大大提高。 5、机电一体化优化设计，智能化的数据处理技术，使流量计具有更好的重复性，实现了计量的准确、可靠。 6、结构的优化，MFM流量计的压力损失达到最小化。 7、采用新的MF传感技术，使流量计工作更稳定、可靠。 8、零点自校功能，测量更准确。 9、多种气体实际标定，全量程补偿。 10、快速响应、数据自动存储，配合上位机可实现网络集中管理。 11、规格齐全，量程范围宽，可根据用户要求单独标定。 12、精度等级高，满足用户高精度测量要求。 13、的流量计报警功能，使监控更可靠。 五、产品分类与命名
六、安装与接线 7.1 安装注意事项
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| 相关信息 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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