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CIF-SEM CIF扫描电镜等离子清洗机-等离子清洗器

具体成交价以合同协议为准

2020-04-08北京市
型号
CIF-SEM
参数
适用领域:科研 清洗时间:1-99分59秒 电压:220V 工作温度:28℃ 产地:国产 加工定制:否
华仪行(北京)科技有限公司

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产品简介
CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计,并可自动切换,一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。
详细信息

产品特点

  • 双等离子清洗源
  • 一机多用
  • 高效低损伤

技术参数

产品型号

CIF-SEM

法兰接口

KF40

工作气压

0.3-3Pa

等离子电源

13.56MHz射频电源,射频功率5-100W可调,自动匹配器

气体控制

标配双路50毫升/分气体质量流量控制器(MFC),精确测量自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空控制

美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计, 测量范围1E-5Torr

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面

电源/功率

220V,50/60Hz,300W

可选配件

可选氧气、氮气、氢气发生器, 氢气纯度﹥99.999%,输出流量0-300ml/min 

质量保证

二年质保,终身维护

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    产品参数

    适用领域 科研
    清洗时间 1-99分59秒
    电压 220V
    工作温度 28℃
    产地 国产
    加工定制
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