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S48 32/HMT 气体质量流量计，气体质量流量控制器
具体成交价以合同协议为准
2018-05-15北京市
- 型号
- S48 32/HMT
产品简介
质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。
☆具有流量气流响应速度快、过冲小等特点。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小，工作压力范围宽。
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。
☆可任意位置安装。
详细信息
☆具有流量气流响应速度快、过冲小等特点。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小，工作压力范围宽。
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。
☆可任意位置安装。
编号 | 项目 | S48 32/HMT
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1 | 流量规格 | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (0～1,2,3,5,10，20，30，50)L/min |
2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 |
3 | 调节阀静止状态 | 常闭 |
4 | 安装方向 | 任意 |
5 | 流量控制范围 | 2%～ |
6 | 流量测量范围 | 0～ |
7 | 零点温漂 | ±30mV（15℃～35℃） |
8 | 响应时间 | 2S（T98，设定值的±2% F.S） |
9 | 工作环境温度 | 5℃～50℃ |
10 | 精度保证温度 | 15℃～35℃ |
11 | 精度 | ±1.0%F.S |
12 | 线性精度 | ±0.5%F.S |
13 | 重复性 | ±0.2%F.S |
14 | 工作压差 | ＜10L/min (50～300)kPa，其余规格(100～300)kPa |
15 | 耐压 | 3MPa |
16 | 泄漏率 | 1×10-8 Pa•m3／s （He） |
17 | 接触气体材料 | 316L、PTFE、Viton氟橡胶 |
18 | 管路接头 | 1/4Swagelok,Φ6～Φ10 |
19 | 供电电源 | ±15VDC(±5%)。 +15V＜100mA,-15V＜150mA |
20 | 设定信号 | (0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ |
21 | 流量输出信号 | (0～5)VDC 负载能力≤3mA |
22 | 电气接头 | D-SUB15 |
23 | 外形尺寸mm | 113(宽)×121（高）×32（厚）
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24 | 重量(Kg) | 0.94 |
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