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产品介绍
价格区间 | 面议 |
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Delta薄膜厚度测量系统品特点
快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高
Delta薄膜厚度测量系统应用案例
应用领域
半导体(SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS,SOI等) LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)
LED (SiO2、光刻胶ITO等) 触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)
汽车(防雾层、Hard Coating DLC等) 医学(聚对二甲苯涂层球囊/壁厚药膜等)
Delta薄膜厚度测量系统技术参数
型号 | TF200-VIS | TF200-EXR | TF200-DUV | TF200-XNIR |
波长范围 | 380-1050nm | 380-1700nm | 190-1100nm | 900-1700nm |
厚度范围 | 50nm-40um | 50nm-300um | 1nm-30um | 10um-3mm |
准确度1 | 2nm | 2nm | 1nm | 10nm |
精度 | 0.2nm | 0.2nm | 0.2nm | 3nm |
入射角 | 90° | 90° | 90° | 90° |
样品材料 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 |
测量模式 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 |
光斑尺寸2 | 2mm | 2mm | 2mm | 2mm |
是否能在线 | 是 | 是 | 是 | 是 |
扫描选择 | XY可选 | XY可选 | XY可选 | XY可选 |