SE500椭偏仪薄膜测量薄膜材料的厚度、NK性能250-1700nm

产品简介

椭偏仪是一种利用光的偏振态变化来进行薄膜性质表征的仪器，主要用来测量薄膜材料的厚度、NK参数等性质。椭偏仪的主要原理是将自然光（紫外光、可见光以及红外光）变成偏振光后通过一定角度入射到样品上，偏振光进入样品介质后会反射回到椭偏仪检偏器内，由于样品介质会对偏振光的偏振态发生改变，而这种改变会被椭偏仪测量，椭偏仪就是利用这个介质对偏振光性质改变的原理来表征介质的性质的
SE500型号采用双光谱仪耦合实现250-1700nm超长波段的探测，可实现对材料紫外、可见和红外波段的全覆盖测量研究，同时可搭配自动平台扫描、自动变角、微光斑探测以及平台加热等功能满足不同应用需求。


产品相册





设备配置

探测器：阵列探测器,

光源：高功率的DUV-Vis-NIR复合光源

软件：TFProbe 3.3版本的软件

入射角度变化：手动调节

测量种类：薄膜厚度、折射率和消光系数以及多层膜堆叠

计算机：Intel双核处理器、19”宽屏LCD显示器

电源：110–240V AC/50-60Hz，6A



保质期

保修：一年的整机及零部件保修

技术参数


波长范围：250nm到1700 nm

光斑尺寸：1mm至5mm可变

样品尺寸：直径可达200mm

测量厚度范围*：〜30μm

测量时间：约1/位置点

入射角范围：20到90度，5度间隔

重复性误差*：小于1 Ǻ